美國科諾研制的3D接觸角測(cè)量?jī)x針對(duì)材料表面的化學(xué)多樣性、異構(gòu)性、表面粗糙度的影響分析具有非常強(qiáng)的實(shí)際價(jià)值。同時(shí)，由于大部分材料的測(cè)試表面水平度不夠水平、測(cè)試儀器的水平度調(diào)整不夠，也會(huì)出現(xiàn)角度的偏差。

在具體應(yīng)用中，主要體現(xiàn)為：

1、測(cè)試材料表面的清潔度：分析如液晶玻璃、手機(jī)玻璃、PCB板、硅片、晶圓、wafer表面的接觸角值，評(píng)估其等離子清洗效果。如果出現(xiàn)左、右角度值偏差超過一定的范圍，即視為清潔失敗。這種方法可以實(shí)現(xiàn)快速（一滴液滴即可完成評(píng)估）、（角度值誤差1度之內(nèi)）。

2、評(píng)估材料的多樣性情況：通常評(píng)估左、右角度值是否均勻，分析材料本身的涂布效果等。

在應(yīng)用中，如下為一張頂視條件下的wafer表面的水滴角圖片及其擬合效果圖。

通過圖片可以明顯看出側(cè)視條件下無法看到的情況，擬合的輪廓無法用圓實(shí)現(xiàn)擬合。主要是因?yàn)楣饪涛g后形成的電路結(jié)構(gòu)影響了水滴的吸附，因而，此種情況下只有3D接觸角測(cè)量?jī)x才能完成相應(yīng)的測(cè)值。